JIS R1636:1998 pdfダウンロード

JIS R1636:1998 pdfダウンロード。了七三以夕又薄膜膜厚试联方法 一触针式表面粗吉计l七大测定方法Test method for thickness of fine ceramic thin films—Film thickness by contact probe profilometer
1 適用範囲
この規格は. y夕薄膜D膜厚窑，触针式表面粗é前汇上○て试脁寸石方法亿vて规定寸石。/用て吉石膜厚笔用注,10~～10 000nm上寸石。
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被覆é九てv石塌合，基材c被覆礼てvなv 部分匕被覆é礼てv石部分て，境界部k明贝上歹な段差o形成志九てv 为塌合炷遒用て老石o，境界s不明0上歹て尚石塌合注_用℃老なv ‘。
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JS B 0651触式表面粗a测定器
JIS R 16007了才屯三少夕又開速用晤JIS Z8401数值D丸o方
IsO 3274 Geometrical Product Specifications (GPS)一Surface texture : Profile method—Nominal
characteristics of contact (stylus) instruments
3.定二D规格て用v石主な用语D定羲汰，JIS R 1600汇上为任办，次D上将’匕寸石。
)77i>也罗三少夕z薄膜﹑基材表面k薄<被覆（口一子入少)é礼t，7了不七子三o夕XD 被膜。材質例匕匕て，酸化物，炭化物，窒化物な匕加,D，被覆方法D例匕匕て法，真空蒸着，又八》夕U少少，cVDな匕o,石。 b) ITO 〈少沙勺么寸y酸化物(Indium Tin Oxide)。尤亏X基材匕薄膜状忆曰一号人少尧九透明淳鼋膜 Lて压<夷用化é礼てv。代表的な7了不也子三少夕又薄膜D一稀。 4.测定D原理触针式表面粗é针化上石测定D原理法，因1忆示寸上歹匕～歉片D，基材被覆é礼てvなv 部分匕被覆a九てv石部分℃形成é礼．境界部D段差部(B)左,触针上てA→B→C匕走查L，己D"口7了〈心亿右矿石高媒o差办凸膜厚(在求力石。